エレクトロスプレー部
液体ソースから溶媒を除去し真空系にとりこみます
エネルギーアナライザー部
飛来したイオンビームのうち特定のエネルギーを持つ粒子だけを分級してチャンバーへ送ります。（エネルギーはｍ/Zに比例するので質量を分離することになります）
LIQUIDは液体中に分散された半導体量子ドットソースを、大気圧雰囲気中でエレクトロスプレイ現象によりイオン化し、溶媒除去後、ジェットノズルから量子ドットイオンのみを取り込んでイオンビームを形成、高真空チャンバー内の基板上に堆積する装置です。
当社独自の技術により、大気中の液体分散量子ドットから、ナノ結晶の形態を保存したまま真空チャンバー内での堆積可能にしました。これにより、高い発光効率を持つ液体分散半導体量子ドットソースを様々に応用できます。
用途は半導体量子ドットに限らず、様々な液体に分散した試料から液体を取り除き、真空中の基板に堆積することができます。
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エレクトロスプレー部 液体ソースから溶媒を除去し真空系にとりこみます |
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エネルギーアナライザー部 飛来したイオンビームのうち特定のエネルギーを持つ粒子だけを分級してチャンバーへ送ります。（エネルギーはｍ/Zに比例するので質量を分離することになります） |
Ion Beam Deposition of Quantum Dots from Colloidal
Solution
Yuki Tani, Satoshi Kobayashi, and Hiroshi
Kawazoe
Jpn. J. Appl. Phys. 47 (2008) pp. 2977-2981
Characterization of electrospray ion-beam-deposited
CdSe/ZnS quantum dot thin films from a colloidal solution
Yuki
Tani, Satoshi Kobayashi, and Hiroshi Kawazoe
J. Vac. Sci. Technol. A 26
(2008) pp. 1058-1061
特許出願中 WO 2006/043656 A1
問い合わせ先
HOYA株式会社 R&Dセンター
〒196-8510 東京都昭島市武蔵野3-3-1
liquid@sngw.rdc.hoya.co.jp
企画部